В эпоху расцвета радиолюбительства в первой половине прошлого века были популярны простые самодельные устройства, с помощью которых можно было слушать передачи ближайших радиостанций.

Главным их элементом был подключенный к антенне детектор из кусочка галенита — сульфида свинца. С помощью металлической иголки, подсоединенной одним концом к наушникам, на поверхности галенита можно было найти удачную точку контакта и слушать радиопередачи. Мальчишки поступали еще проще — брали свинец и вплавляли в него серный порошок, оставалось сделать простенькую антенну, наушники — и готов радиоприемник. Это было в своем роде чудо: устройство работало, но никто, даже самый выдающийся физик, не мог бы объяснить, почему так происходит. Найти ответ помогла квантовая механика, и когда удивительные свойства полупроводников перестали быть загадкой, в истории современной цивилизации наступила очередная технологическая революция, которая длится и по сей день.

Первые ласточки

В обычных условиях полупроводниковые материалы вполне оправдывают свое название. Они проводят ток гораздо хуже проводников, но заметно лучше диэлектриков. Во всем остальном их поведение никак не назовешь «промежуточным». Стоит их охладить — и они становятся диэлектриками, в то время как металлы ведут себя с точностью до наоборот. А при нагревании полупроводники, в противоположность металлам, начинают все лучше и лучше проводить электричество. Такое необычное поведение сульфида серебра наблюдал еще в середине позапрошлого века Майкл Фарадей.

На основе полупроводников можно делать выпрямители — устройства для преобразования переменного тока в постоянный. Есть у этих материалов и еще одно необычное свойство — светочувствительность — при освещении они начинают лучше проводить электрический ток. Впервые это заметили английские инженеры, работавшие с телеграфным кабелем. Изоляцию кабеля делали из селена, но оказалось, даже лунный свет способен заметно менять ее сопротивление. Так элемент, получивший свое название в честь Луны, через полвека удивительным образом его оправдал.

Кстати, открытием особых свойств селена не замедлил воспользоваться немецкий изобретатель Вернер фон Сименс, который в 1875 году создал первый полупроводниковый фотометр. В обычную электрическую цепь Сименс включил селеновый элемент, сопротивление которого менялось в зависимости от освещенности, соответственно увеличивая или уменьшая регистрируемый гальванометром ток.

С изобретением радио все силы были брошены на создание приборов для детектирования и усиления радиосигналов. Конечно, наиболее чувствительные радиоприемники в то время были ламповыми, но не обошлось и без полупроводниковых устройств, не требовавших питания и использовавших энергию радиоволн. Каждому радиолюбителю тех времен был знаком кристадин, придуманный в 1922 году лаборантом Нижегородской радиолаборатории Олегом Владимировичем Лосевым. На основе полупроводникового материала цинкита (ZnO) Лосев создал первые в мире полупроводниковые усилитель и генератор электрических сигналов. Эти результаты привлекли всеобщее внимание, но тогда подобные приборы никак не могли составить конкуренцию электронным лампам, поскольку параметры полупроводников были не очень надежны, а характеристики труднопредсказуемы.

Шли годы, и, несмотря на постоянные усовершенствования, лампы не поспевали за новыми техническими требованиями к быстродействию и энергопотреблению, а экономия размеров при создании сложных схем и вовсе оборачивалась головной болью для схемотехников. В 1940-е годы на смену громоздким и медленным лампам стали приходить германиевые диоды и другие полупроводниковые элементы. Однако для полного счастья недоставало одной важной детали — полупроводникового усилителя.

Размер имеет значение

Почти одновременно с Лосевым, в 1925 году, американский исследователь Юлиус Лилиенфельд предложил простую идею усилительного устройства, основанную на так называемом «эффекте поля». Она заключалась в следующем. Возьмем плоский конденсатор, одна обкладка которого металлическая, а другая — из легированного полупроводника, где есть определенное количество избыточных носителей заряда, например электронов. Если на металлическую пластину подать отрицательный потенциал, поле будет вытеснять электроны из приповерхностного слоя полупроводника, там возникнет недостаток носителей тока, и электрическое сопротивление полупроводниковой пластины увеличится. При смене полярности, наоборот, носителей в этой области станет больше и сопротивление уменьшится. Получается, что с помощью напряжения, приложенного между металлом и полупроводником, можно управлять сопротивлением полупроводниковой пластины. Что и требовалось получить! Однако у этой привлекательной идеи был один недостаток — все попытки заставить подобное устройство работать оканчивались неудачей.

И все же галенитовые детекторы и селеновые выпрямители использовались в реальных приборах, была разработана зонная теория, позволявшая многое объяснить, а значит, был повод для оптимизма. Уже летом 1945 года в Bell Labs организовали группу по изучению полупроводников. Задача была сформулирована вполне четко — найти полупроводниковую замену ламповым усилителям и электромеханическим реле. Решили следовать идеям об эффекте поля и сосредоточить усилия на изучении кремния и германия, как материалов наиболее стабильных и дающих наибольшую вероятность получения высокочистых кристаллов.

Теоретик Джон Бардин и экспериментатор Уолтер Браттейн работали вместе. После безуспешных попыток воспроизвести эффект поля они постепенно перешли к опытам без диэлектрика. Сначала экспериментировали с кремнием, затем с германием, добавляя на его поверхность капельки электролита. Потом электролит заменили тонким слоем золота. И вот появился первый, еще весьма слабый эффект, его удалось наблюдать на схеме, где один контакт был подсоединен к напыленному пятну золота, а второй представлял собой вольфрамовую иголку. Тщательные вычисления показали, что для наблюдения заметного усиления два контакта должны находиться на расстоянии всего в 50 микрон (диаметр человеческого волоса). Чтобы получить такие маленькие расстояния, золотые полоски напыляли на кристалл и разрезали бритвой.

И вот в конце 1947 года был изготовлен действующий транзистор — конструкция на основе полупроводникового материала, которая позволяла усиливать электрический сигнал. О результатах доложили начальству, но публичное объявление об открытии решили пока отложить, поскольку исчерпывающего объяснения эффекта не было — схема принципиально отличалась от той, что предлагал Лилиенфельд. В это время один из руководителей той же лаборатории Уильям Шокли занялся собственными изысканиями и после нескольких недель напряженной работы нашел объяснение. Он сформулировал теорию p-n перехода, а кроме того, придумал новый вариант устройства — биполярный транзистор, гораздо более эффективный, чем первый точечный, реализованный Бардином и Браттейном. В 1956 году, когда важность этих открытий уже ни у кого не вызывала сомнения, всем троим была присуждена Нобелевская премия по физике.

Биполярный транзистор представляет собой сэндвич, где между слоями полупроводника одного типа расположен слой полупроводника другого, например, p-типа. Тонкая прослойка выполняет роль своеобразного затвора, как на плотине. «Опуская» или «поднимая» ее, можно регулировать основной ток. Чтобы эта конструкция работала, прослойка должна быть достаточно тонкой. Чем она тоньше, тем больше коэффициент усиления и выше быстродействие транзистора.

Лаборатории Белла сразу оформили патент на это революционное изобретение, но, что касается технологий, тут дела продвигались не так стремительно, как хотелось бы. Первые транзисторы, поступившие в продажу в 1948 году, не внушали оптимизма — стоило их потрясти, и коэффициент усиления менялся в несколько раз, а при нагревании они и вовсе переставали работать. Но зато им не было равных в миниатюрности. Аппараты для людей с пониженным слухом можно было поместить в оправе очков! Поняв, что вряд ли она сама сможет справиться со всеми технологическими проблемами, фирма решилась на необычный шаг: в начале 1952 года она объявила, что полностью передаст права на изготовление транзистора всем компаниям, готовым выложить довольно скромную сумму в $25 тысяч вместо регулярных выплат за пользование патентом. Доступность технологии дала свои плоды — мир начал стремительно меняться.

И все-таки он работает!

Несмотря на триумф биполярных транзисторов, самые упорные исследователи не оставляли попытки сделать прибор на основе эффекта поля, получивший название «полевой транзистор». Первую работающую конструкцию придумал все тот же Шокли. Вместо металлического слоя над основным полупроводником он использовал сильно легированный (с большим количеством примесей) полупроводник противоположного типа. Роль управляющего затвора выполнял p-n переход. А еще через несколько лет удалось-таки найти подходящие материалы, чтобы в точности реализовать идею Лилиенфельда.

К большой радости технологов это оказались… кремний и двуокись кремния. Устройства получили название в соответствии со своей конструкцией: МДП-структуры (металл-диэлектрик-полупроводник) или, чтобы подчеркнуть, что роль диэлектрика выполняет окисел, — МОП-структуры (металл-окисел-полупроводник). Главное преимущество полевых транзисторов — низкое энергопотребление. Управляет сигналом поле, то есть напряжение, а ток в управляющем канале практически не течет, и значит, никаких потерь нет.

Итак, физики выполнили свою задачу, дальше за дело взялись технологи. Их основными целями были маленькие размеры элементов, их надежность и быстродействие. В июле 1958 года Джек Килби, поступивший незадолго до того на работу в Texas Instruments, написал в своем лабораторном журнале: «Можно добиться чрезвычайной миниатюризации множества электрических цепей, разместив резисторы, конденсаторы, транзисторы и диоды на одном куске кремния». А дальше на пяти страницах подробно объяснил, как это можно сделать.

Не менее важным, чем сама идея «интеграции» элементов, стало изобретение планарной технологии, позволяющей изготавливать все контакты и слои транзистора на одной стороне пластины кремния. А когда Нойс, сотрудник созданной Шокли компании Fairchild Semiconductor, придумал, как можно наносить токопроводящие соединения между отдельными элементами, на свет появилась первая интегральная схема (ИС).

Первая промышленная ИС, выпущенная в 1961 году, содержала шесть элементов: четыре биполярных транзистора и два резистора, размещенных на пластине диаметром 1 см. Теперь нас этим не удивишь — современная микросхема примерно такого же размера, например в персональном компьютере, содержит уже не единицы, а миллионы транзисторов.

Статья опубликована в журнале «Популярная механика» (№11, Ноябрь 2005).