В ходе реализации программы CSVMP Агентства передовых оборонных исследовательских проектов министерства обороны США (DARPA) созданы самые маленькие в мире вакуумные насосы.

В каждом из крошечных шестиугольных отсеков 24-ступенчатого низковакуумного насоса, разработанного Мичиганским университетом, размещены секция насоса или клапан.
Двухступенчатый вакуумный насос, разработанный в MIT     
Турбомолекулярный насос компании Honeywell     

Целью программы CSVMP (Chip-Scale Vacuum Micro Pumps — вакуумные насосы масштаба чипа), стартовавшей в 2008 году, была разработка целого класса сверхэффективных вакуумных микронасосов, способных создавать давления до 10−6 торр в крошечных камерах объемом до 1 мм³. В программе принимали участие Мичиганский университет, компания Honeywell и Массачусетский технологический институт (MIT).

Исследователи из Мичиганского университета разработали насосы для трех разных диапазонов давлений — микроплазменный высоковакуумный насос, использующий процесс ионизации Пеннинга, насос Кнудсена для среднего вакуума и высокочастотный перистальтический низковакуумный насос.

Группа из MIT тоже разработала насосы трех типов. Низковакуумный двухступенчатый насос проектировался этой группой в расчете на достижение максимальной эффективности. Значение коэффициента компрессии этого насоса (4,6 на каждую ступень) ­- рекордный показатель для его размеров.

Компания Honeywell продемонстрировала турбомолекулярный микронасос, работающий в диапазонах среднего и высокого вакуума.

Новые микронасосы имеют в 300 раз меньшие размеры, чем вакуумные насосы, выпускаемые промышленностью серийно и в 20 раз меньшие, чем насосы, изготавливаемые под заказ. При этом для снижения давления от атмосферного до значений, измеряемых миллиторрами, они требуют в 10 раз меньше энергии, чем промышленные образцы.

Новые насосы позволят создать высокочувствительные газовые анализаторы, компактные сверхточные атомные часы с лазерным охлаждением и микроскопические электронные лампы.

По пресс-релизу DARPA