Используя электронный пучок, удалось «художественно» вырезать из металла объекты, структуры и устройства нанометровых размеров.
Нанорезьба: Выпиливание электроном

Марья Дрндич (Marija Drndić) и Майкл Фишбейн (Michael Fischbein) использовали пучок электронов от электронного микроскопа для создания различных наноструктур, удаляя атомы из металлических пленок. Использовались прямоугольники из золота, серебра или алюминия толщиной от 10 до 50 нм, нарезанные на полосы шириной 80 нм. Электронным «лобзиком» удалось вырезать из них самые разные наноструктуры: нанодиски, нанокольца, нанопроволоки, нанодырки…

«Это все равно, что вырезать по льду при помощи лупы и солнечных лучей, — поясняет Майк Фишбейн. — Однако использование пучка электронов вместо света позволяет получить точность на атомарном уровне». Метод, названный TEBAL (Transmission Electron Beam Ablation Lithography), позволяет контролировать процесс создания структуры в реальном времени и тут же получать ее изображение с атомным разрешением.

Пока что все структуры, созданные с использованием TEBAL были сделаны «вручную», т. е. человек управлял электронным пучком и наблюдал за тем, какую форму принимает заготовка. Но в перспективе компьютерное управление поможет еще более повысить степень точности метода. TEBAL обладает большим практическим потенциалом. Ожидается, что с его помощью можно будет создавать самые разнообразные наноструктуры.

Читайте также о революционных возможностях наноэлектроники: «Нанодиод и нанобатарея» и о сверхэффективных солнечных батареях: «Наноманхэттен».

«Нанометр»